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GaN パワーデバイス向け絶縁膜技術」

安打: http://annex.jsap.or.jp/adps/report/touronkai04_report.pdf

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2018-7-31 · 絶縁ゲート構造は、MOSFETやIGBTなどのデバイスの制御性・信頼性を高める上で不可欠な要素 ... 改善処理など）からデバイス特性・信頼性に関して、様々な候補材料 ...